噴涂機(jī)產(chǎn)品及廠家
lpecvd是在低壓高溫的條件下，通過(guò)化學(xué)反應(yīng)氣相外延的方法在襯底上沉積各種功能薄膜（主要是si3n4、sio2及poly硅薄膜）？捎糜诳茖W(xué)研究、實(shí)踐教學(xué)、小型器件制造。
更新時(shí)間:2025-11-13
材料的輸運(yùn)采取了超純的氣路系統(tǒng)，源的切換和輸入采用了多路組合閥進(jìn)氣技術(shù)。由于組合閥具有小的死空間，使得源的殘留量非常少，有利于生長(zhǎng)具有陡峭界面的材料。
更新時(shí)間:2025-11-13
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