HMDS預處理系統(tǒng)
在半導體生產(chǎn)工藝中，光刻是至關重要的一個工藝環(huán)節(jié)，而涂膠工藝的好壞，直接影響到光刻的質(zhì)量，所以涂膠也顯得尤為必要，尤其在所刻線條比較細的時候，任何一個環(huán)節(jié)有一點紕漏，都可能導致光刻的失敗。在涂膠工藝中，所用到的光刻膠絕大多數(shù)是疏水的，而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，如果在晶片表面直接涂膠的話，勢必會造成光刻膠和晶片的粘合性較差，甚至造成局部的間隙或氣泡，涂膠厚度和均勻性都受到了影響，從而影響了光刻效果和顯影。
為了解決這一問題，涂膠工藝中引入了一種化學制劑，即HMDS，它的英文全名叫Hexamethyldisilazane（HMDS），化學名稱叫六甲基二硅氮甲烷，把它涂到硅片表面后，通過加溫可反應生成以硅氧烷為主題的化合物，這實際上是一種表面活性劑，它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起到耦合的作用，再者，在顯影的過程中，由于它增強了光刻膠與基底的粘附力，從而有效地抑制刻蝕液進入掩模與基底的側(cè)向刻蝕。 最初，人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上，然后借著晶片的高速旋轉(zhuǎn)在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結(jié)合問題，但隨著光刻線條的越來越細，膠的越來越薄，對粘附力提出了更高的要求，于是我們研制出了現(xiàn)在的HMDS預處理系統(tǒng)。
2 HMDS預處理系統(tǒng)的優(yōu)越性
HMDS預處理系統(tǒng)的優(yōu)點在于：
（1）預處理性能更好，由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮氣置換再進行的HMDS處理，所以不會有塵埃的干擾，再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進行，晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤，再接著進行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機會大大降低，所以有著更好的處理效果。
（2）處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
（3）效率高。液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達多盒的晶片。
（4）更加節(jié)省藥液。實踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理多盒晶片所用藥液還多；
（5）更加環(huán)保和安全，HMDS是有毒化學藥品，人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機，所以也不會對環(huán)境造成污染。
3系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
整個系統(tǒng)由加熱、真空系統(tǒng)、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。
3.1加熱模塊
由于工藝的整個過程都需要在150℃左右的環(huán)境下進行，所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。
本系統(tǒng)采用在腔體外側(cè)加熱，采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實現(xiàn)閉環(huán)控制，調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出，從而實現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制，測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。
3.2真空模塊
由機械泵、真空組件、真空測量等組成，主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽，不再贅述。
3.3充氮模塊
作用是在置換過程中，用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽，從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。
主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。
3.4加藥模塊
加藥模塊的作用是在需要的時候把藥液變成蒸汽，均勻的涂布到晶片表面。
它主要由藥液瓶，接口、控制閥和噴頭組成。
3.5控制模塊
控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊，它的作用是控制各個模塊的動作和時序，完成整個工藝過程。
它主要由人機界面，CPU控制中心，控制接口和輸出部件，報警等5部分組成。
人機界面采用臺灣威綸通觸摸屏來實現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。
4軟件組成
整個控制軟件共分4個部分，即自動運行、手動控制、參數(shù)設定、幫助。
當按下自動運行鍵后，畫面轉(zhuǎn)換到運行畫面，顯示當前的工藝狀態(tài)，運行時間等，同時系統(tǒng)開始運行。
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達到某高真空度（該值可預設）后，開始充入氮氣，充到達到某低真空度（該值也可預設）后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程，達到設定的充入氮氣的次數(shù)后再次抽真空，然后充入藥液，達到設定時間后，停止充入藥液，進入保持階段。當?shù)竭_設定的保持時間后，再次開始抽真空、充入氮氣，次數(shù)為設定值，當系統(tǒng)自動工作完成后，畫面切換到結(jié)束畫面，同時給出聲光報警等待取片，在自動工作過程中若出現(xiàn)異？牲c擊運行畫面中的停止鍵，隨時終止程序的運行。5、 HMDS-90真空系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
內(nèi)部尺寸：450X450X450
電源： AC220V，功率：3000W
真空度： 常壓到—133pa或1TORR以下
材質(zhì)： 內(nèi)部SUS316電解處理 外殼SS41靜電噴涂。
管路： SUS潔凈管
層架； SUS316材質(zhì)
門內(nèi)板： 鋼化玻璃
流程控制：液晶觸摸屏（臺灣威綸通）、PLC控制(三菱)，流程可編輯，可以預存5組程序。（可根客戶要求可以更改流程）
加熱方式：腔體外側(cè)加溫。 溫度：RT+10℃～ 200℃；微電腦溫度控制器，控溫
精確可靠？販鼐龋1℃，真空室溫度均勻
氮氣裝置：氮氣進入箱內(nèi)有調(diào)壓裝置，控制有自動閥完成。
HMDS裝置：HMDS藥液進入箱內(nèi)采用壓力差吸取瓶內(nèi)HMDS方式，自動閥控制
真空泵：抽氣速度4升\秒
工作流程：
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達到某高真空度（該值可預設）后，開始充入氮氣，充到達到某低真空度（該值也可預設）后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程，達到設定的充入氮氣的次數(shù)后再次抽真空，然后充入藥液，達到設定時間后，停止充入藥液，進入保持階段。當?shù)竭_設定的保持時間后，再次開始抽真空、充入氮氣，次數(shù)為設定值，當系統(tǒng)自動工作完成后，畫面切換到結(jié)束畫面，同時給出聲光報警等待取片，在自動工作過程中若出現(xiàn)異？牲c擊運行畫面中的停止鍵，隨時終止程序的運行。
溫度交變試驗箱http://www.shmaijie.net.cn/產(chǎn)品用途
高低溫試驗箱：該儀器適用于工業(yè)產(chǎn)品高、低溫的可靠性試驗。對電子電工、汽車摩托、航空航天、船舶兵器、高等院校、科研單位等相關產(chǎn)品的零部件及材料在高、低溫(交變)循環(huán)變化的情況下,檢驗其各項性能指標。產(chǎn)品具有較寬的溫度控制范圍，其性能指標均達到國家標準。
溫度交變試驗箱設備工作原理
1. 工作原理
制冷工作原理：制冷循環(huán)采用逆卡若循環(huán)，該循環(huán)出兩個等溫過程和兩個絕熱過程組成，其過程如下：制冷劑經(jīng)壓縮機絕熱壓縮到較高的壓力，消耗了的功使排氣溫度升高，之后制冷劑經(jīng)冷凝器等溫地和四周介質(zhì)進行熱交換將熱量傳給四周介質(zhì)。后制冷劑經(jīng)截流閥絕熱膨脹做功，這時制冷劑溫度降低。最后制冷劑通過蒸發(fā)器等溫地從溫度較高的物體吸熱，使被冷卻物體溫度降低。此循環(huán)周而復始從而達到降溫之目的。本試驗箱之制冷系統(tǒng)采用1套法國產(chǎn)泰康全封閉壓縮機所組成的單元氟利昂制冷系統(tǒng)。制冷系統(tǒng)的設計應用能量調(diào)節(jié)技術,既能保證制冷機組正常運行,又能對制冷系統(tǒng)的能耗及制冷量進行有效的調(diào)節(jié)，使制冷系統(tǒng)保持在最佳的運行狀態(tài)。采用平衡調(diào)溫(BTC),既在制冷系統(tǒng)在連續(xù)工作的情況下，控制系統(tǒng)根據(jù)設定之溫度點通過PID自動運算輸出的結(jié)果去控制加熱器的輸出量，最終達到一種動態(tài)平衡。
2.滿足標準
系列試驗箱適用于工業(yè)產(chǎn)品恒定濕熱的可靠性試驗。性能指標符合GB/T2423.1-2001 電工電子產(chǎn)品基本試驗規(guī)程 試驗A:低溫試驗方法,GB/T2423.2-2001 電工電子產(chǎn)品基本試驗規(guī)程 試驗B:高溫試驗方法,GB2424.1-89 電工電子產(chǎn)品基本環(huán)境試驗規(guī)程。
推薦產(chǎn)品：步入式氣候循環(huán)試驗室http://www.shmaijie.net.cn/
移動式登車橋：用于現(xiàn)場無裝卸貨平臺或需要流動裝卸貨物的場所。如果物流現(xiàn)場沒有裝卸貨平臺，作為補救措施，移動式登車橋是非常適用的方案之一，移動式登車橋相當于一個移動的鋼結(jié)斜坡，叉車同樣能直接駛?cè)肟ㄜ囓噹麅?nèi)部進行批量裝卸作業(yè)。只需單人操作，不需動力電源，即可實現(xiàn)貨物的安全快速裝卸。
結(jié)構(gòu)： 移動式登車橋采用特制異型鋼管，臺面采用特制的菱形網(wǎng)格板，防滑(網(wǎng))板。它的波形鋼格網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，充分保證了卓越的防滑性能，使叉車有更好的爬坡性和可操縱性。配置的剎車墊（可有效防止貨車裝卸時液壓登車橋移位）？烧{(diào)節(jié)長度的索鏈能方便地鉤住貨車，使登車橋與貨車始終緊密貼合。 移動式液壓登車橋廣泛用于無裝卸設備的貨臺及流動裝卸場所，是與叉車配合使用的貨物輔助設備。借助該設備，叉車能直接駛?cè)肫囓噹麅?nèi)部進行批量裝卸作業(yè)。只需單人操作，不需動力電源，即可實現(xiàn)貨物的安全快速裝卸。既可使您減輕勞動強度，又能成倍提高裝卸作業(yè)效率，加快物料流通速度，獲取更大經(jīng)濟效益。
移動登車橋是與叉車配合使用的貨物裝卸輔助設備，可根據(jù)汽車車廂的高低調(diào)節(jié)高度，叉車可以直接通過本設備駛?cè)胲噹麅?nèi)部進行貨物的批量裝卸，僅需單人作業(yè)，即可實現(xiàn)貨物的快速裝卸。它使企業(yè)減少大量勞力，提高工作效率，獲取更大經(jīng)濟效益
產(chǎn)品規(guī)格：6、8、10噸，與叉車配套使用，設備采用手動液壓方式，無需電源 ，省時省力。 液壓登車橋使用場所：車型不一的企業(yè)、車站、碼頭、倉儲物流基地。 移動登車橋特點：臺面采用特制的菱形網(wǎng)格板有可靠的強度，能保證長期使用而不變形。它的菱形網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，充分保證了卓越的防滑性能，使叉車有更好的爬坡性和可操縱性。即使在雨、雪天氣，仍能保證正常使用。 可調(diào)節(jié)長度的索鏈能方便地鉤住貨車，使移動式登車橋與貨車始終緊密貼合。
采用手搖液壓泵作動力，勿需外接動力電源即可輕松實現(xiàn)登車橋的高度調(diào)節(jié)。
配置的剎車墊可有效防止貨車裝卸時登車橋移位。。 移動登車橋結(jié)構(gòu)：采用特制異型鋼管，臺面采用特制的菱形網(wǎng)格板，防滑(網(wǎng))板。它的波形鋼格網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，充分保證了卓越的防滑性能，使叉車有更好的爬坡性和可操縱性。配置的剎車墊（可有效防止貨車裝卸時液壓登車橋移位）？烧{(diào)節(jié)長度的索鏈能方便地鉤住貨車，使登車橋與貨車始終緊密貼合.
| 型號 | 額定溫度 | 額定功率 | 電壓/相數(shù)/頻率 | 爐膛尺寸 | 電爐重量 | |
| GST-6-1400 | 1400 | 6 | 220v/50HZ | 250*150*150 | 180Kg | |
| GST-10-1400 | 1400 | 10 | 380V/3/50HZ | 400*200*200 | 250kg | |
| GST-20-1400 | 1400 | 20 | 380V/3/50HZ | 450*250*300 | 300Kg | |
| | | | | | | |
藍牙核心協(xié)議：Bluetooth2.0. 藍牙應用協(xié)議:支持支持A2DP,AVRCP。功率等級：Class 2設計,距離10M。支持音樂播放，暫停，前一曲，后一曲功能
| 型號 | DW-40W102 |
| 款式 | 臥式 |
| 箱內(nèi)溫度 | -10℃~-40℃±2℃ |
| 氣候類型 | SN N |
| 速凍功能 | 一鍵速凍（空箱壹小時到達-40℃） |
| 防觸電保護類別 | I |
| 總有效容積（L） | 102 |
| 額定電壓（V） | 220～ |
| 額定電流（A） | 1.50 |
| 額定頻率（Hz） | 50 |
| 額定輸入功率（W） | 185 |
| 制冷劑/量（g） | R404a/145 |
| 外形尺寸（mm）寬×深×高 | 594X643X1036 |
| 內(nèi)部（內(nèi)膽）尺寸（mm）寬×深×高 | 426X386X603 |
| 頂開式保存室 | 1 |
| 籃筐 | 1 |
公司：北京德馨永嘉科技有限公司
姓名：王經(jīng)理
手機：15611155119
電話： 59460302
傳真：
郵箱：dexin189@126.com
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