uk micron optoelectronics的表面粒子檢測器系列通過以下技術(shù)實(shí)現(xiàn)電子半導(dǎo)體行業(yè)表面污染的量化監(jiān)測和控制:核心技術(shù)原理界面顆粒再懸浮技術(shù)?:采用界面技術(shù),通過物理或氣流方式將附著在關(guān)鍵表面的顆粒重新懸浮,便于后續(xù)檢測。高精度光學(xué)檢測:基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理,實(shí)時(shí)捕獲懸浮粒子的散射光信號,實(shí)現(xiàn)單個(gè)粒子尺寸的精確分析。