uk micron optoelectronics的表面粒子檢測器系列通過以下技術實現電子半導體行業(yè)表面污染的量化監(jiān)測和控制:核心技術原理界面顆粒再懸浮技術?:采用界面技術,通過物理或氣流方式將附著在關鍵表面的顆粒重新懸浮,便于后續(xù)檢測。高精度光學檢測:基于激光光學傳感器和光散射原理,實時捕獲懸浮粒子的散射光信號,實現單個粒子尺寸的精確分析。
oai is a world leader in uv liight & energy measurement instrumentation used for reliable accurate calibrated control of the hotolithography processes in the semiconductor