原子力顯微鏡(atomic force microscopy)是種以物理學(xué)原理為基礎(chǔ),通過掃描探針與樣品表面原子相互作用而成像的新型表面分析儀器。般原子力顯微鏡利用探針對樣品掃描,探針固定在對探針與樣品表面作用力極敏感的微懸臂上。懸臂受力偏折會(huì)引起由激光源發(fā)出的激光束經(jīng)懸臂反射后發(fā)生位移。檢測器接受反射光,后接受信號經(jīng)過計(jì)算機(jī)系統(tǒng)采集、處理、形成樣品表面形貌圖像。
sem 與 afm 是亞納米樣品分析中應(yīng)用廣泛且互補(bǔ)的兩大技術(shù)。將 afm 集成至 sem 中可融合兩者的優(yōu)勢,實(shí)現(xiàn)超高效工作流程,完成傳統(tǒng) afm 和 sem 難以或無法實(shí)現(xiàn)的限性能和復(fù)雜樣品分析。
alpha300 ra –在一個(gè)系統(tǒng)里面集成化學(xué)成分分析和納米級別的結(jié)構(gòu)成像alpha300 ra 是市場上首個(gè)高度集成的拉曼原子力顯微鏡系統(tǒng),可以在標(biāo)準(zhǔn)的alpha 300r共聚焦拉曼系統(tǒng)上通過標(biāo)準(zhǔn)模塊升級即可完成拉曼原子力系統(tǒng)聯(lián)用,獲得原位的afm和raman圖像的疊加。alpha300 ra 獨(dú)特的設(shè)計(jì)理念使聯(lián)用系統(tǒng)既保留300r強(qiáng)大的化學(xué)組分分析能力,同時(shí)加入微納級別的表面形貌等特性的分析能力,使研究者能對樣品進(jìn)行深度完善的分析和理解。
gauge原子力顯微鏡作為世界上第一臺單芯片(single-chip)afm,是加拿大滑鐵盧大學(xué)(darpa聯(lián)合項(xiàng)目)近十年的研發(fā)成果。single-chip技術(shù)通過cmosmems工藝將afm的所有組件(精細(xì)xyz運(yùn)動(dòng)和納米級感測)集成到單個(gè)1mm x 1 mm的芯片
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