德國 picosun p-1000 pro ald 生產(chǎn)型原子層沉積機,156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(雙面/背對背),高達400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(雙面/背對背),(w x h x d) 230 cm x 270 cm x 125 cm,標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗收標(biāo)準(zhǔn)為 al2o3 工藝.
picosun p-300 advanced ald 高級型原子層沉積機.156 mm x 156 mm硅片50~100片/批次(雙面/背對背),高達300 mm x 300 mm玻璃基板10~20片/批次(雙面/背對背);roll-to-roll, 襯底最大寬 300 mm。全自動轉(zhuǎn)載,用工業(yè)機器人實現(xiàn),標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗收標(biāo)準(zhǔn)為 al2o3 工藝 .
picosun p-300b advanced ald 高級原子沉積機,基片尺寸和類型 300mm晶圓10片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距),200mm晶圓25+2片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距),(w x h x d) 149 cm x 191 cm x 111 cm,標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗收標(biāo)準(zhǔn)為 al2o3 工藝.