詞條簡介
白光干涉顯微鏡
白光干涉顯微鏡【主要特點】
(1)高測量性能
?垂直方向分辨率:利用光干涉方法,通過獨自的算法,實現(xiàn)0.01 nm*的垂直方向分辨率
?重現(xiàn)性:利用干涉條紋測量凸凹的高度,通過將來自Z驅(qū)動機構(gòu)的影響小化,實現(xiàn)0.1 %以下的重現(xiàn)性
?測量速度:無損傷測量:通過日立技術(shù)科學(xué)自主研發(fā)的技術(shù),對玻璃和薄膜等透明多層結(jié)構(gòu)樣品進行測量時,無需對樣品進行加工切割成截面,即可在無損傷的情況下,完成多層結(jié)構(gòu)樣品的各層厚度或異物混入狀況的確認(rèn)以及缺陷分析等 由于不需要樣品的處理,只要將樣品放置在樣品臺上即可完成測量準(zhǔn)備。通過光干涉方法 快5鐘即可完成測量
?測量視野:以從干涉條紋獲取的信息為基礎(chǔ)進行凸凹高度的測量,由此可實現(xiàn)廣范圍(One-shot 大6.4 mm×6.4 mm)測量與高垂直方向分辨率的兩者兼顧。此外,通過連接多個數(shù)據(jù)的圖像,可進一步實現(xiàn)廣范圍的分析
* Phase模式時
(2) 易于使用的操作界面
采用直觀易懂的操作界面,能夠輕而易舉地進行圖像分析處理后的圖像對比,從而支持分析時的合適圖像處理選擇。此外,可簡單地列出處理與分析的內(nèi)容、創(chuàng)建獨自的分析參數(shù)、重復(fù)使用分析參數(shù)等,并且還可批量處理數(shù)據(jù),由此實現(xiàn)統(tǒng)一管理多個樣品和分析結(jié)果,減輕繁瑣復(fù)雜的后處理。
(3) ISO 25178參數(shù)對比工具
在對比多個樣品時,通過將ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的32項參數(shù)值按差異的大小順序重新排列,從而在樣品對比時能夠輕松選取適參數(shù),支持客戶的分析業(yè)務(wù)。
(4) 硬件升
按每一臺XY樣品臺的驅(qū)動方式,設(shè)計了3個類型的產(chǎn)品,即基礎(chǔ)模式的手動型Type 1、電動型Type 2、Type 3。從Type 1到Type 2、Type 3,均可根據(jù)不同的用途進行升。 實體顯微鏡,倒置金相顯微鏡,生物顯微鏡,手術(shù)顯微鏡,讀數(shù)顯微鏡,掃描電子顯微鏡相關(guān)詞條
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