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場發(fā)射掃描電鏡
場發(fā)射掃描電鏡
近年來,以Materials Integration為代表,其應(yīng)用域及用途在不斷擴(kuò)展,短時間內(nèi)獲取大量數(shù)據(jù),減輕作業(yè)負(fù)荷成為市場的一大需求。為滿足這一需求,此次特推出的SU8700作為一款面向新時代的SEM,在日立電鏡貫有的高圖像質(zhì)量和高穩(wěn)定性的基礎(chǔ)上,增加了包括自動獲取數(shù)據(jù)等高通量的功能。
SU8700可配置各種分析附件,適用于從低加速觀察到高束流的EBSD分析,支持陶瓷、金屬等不同材料的解析。該系列產(chǎn)品的特點如下:
1.支持自動獲取數(shù)據(jù)
在FE-SEM的觀察和分析中,需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度,這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動調(diào)整功能,可避免人為操作導(dǎo)致的差異。
此外,隨著儀器性能的提升,需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加,手動獲取各種大量數(shù)據(jù)會大大增加用戶的作業(yè)負(fù)擔(dān)。此系列產(chǎn)品可選配“EM Flow Creator”,用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定條件,自動獲取數(shù)據(jù),這對于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動開發(fā)起到重要作用。
2.增加獲取信息的種類與數(shù)量
通過SEM能夠收集到多種信號,且此系列產(chǎn)品多可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數(shù)的同時能夠獲取多種信息。
此外,為一次性獲取大量信息,單次掃描像素擴(kuò)展到了40,960 x 30,720(選配),是之型號的64倍。利用這一功能,可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評估多處局部的細(xì)微結(jié)構(gòu)。
3.增強信號檢測能力
SU8700的樣品倉設(shè)計巧妙,可使用短工作距離進(jìn)行EDS分析,通過提高EDS分析的空間分辨率,能夠?qū)崿F(xiàn)更微小部位的分析。 掃描電鏡,桌面掃描電,大型掃描電鏡,落地式掃描電鏡,鎢燈絲掃描電鏡,最新產(chǎn)品
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